镀膜设备厂家-东莞拉奇纳米-台湾镀膜设备

物理气相沉积涂层设备，该设备包括耐高压真空炉腔、转炉架、真空系统、阴极电弧系统、控制系统、高温轴承等，镀膜设备厂，同时采用开发的---的真空磁控阴极电弧技术，将具有硬度、---结合力、均匀一致的纳微米超硬薄膜运用于刀具、各类模具以及机械零部件表面，寿命提---到3-10倍以上。

研究制备的各类pvd涂层包括高硅涂层、高铝涂层（氮铝化钛）、cr-al涂层（alcrn）、ticn（氮碳化钛）涂层、tin（氮化钛）涂层、类金刚石（dlc）涂层等。涂层具有光滑、致密、硬度高、耐高温、抗磨损、防氧化等特点，能够进行批量和工业化生产应用。

金属钯及其合金具有很强的氢气吸附能力和特殊的选择渗透能力， 是理想的氢气储存和净化材料 。目前， 通常使用整体钯合金或镀钯等方法制造氢净化设备。近年来 ，有研究者尝试采用化学气相沉积法制备钯的薄膜或薄层材料 ， 他们选用分解温度很低的金属有机化合物作为沉积钯的源物质， 他们是:---[β-酮] pd(ⅱ)、pd(η3 -c 3 h 5 )(η 5-c 5 h 5 )和 pd(η3-c 3 h 5 )(cf 3 cochcocf 3 )等。采用化学气相沉积法可以制备高纯度的钯薄膜 。