




化学气相沉积的特点
化学气相沉积工艺是,将加热的模具暴露在发生反应的混合气氛(真空度≤1pa)中,使气体与模具表面发生反应,在模具表面上生成一层薄的固相沉积物,如金属碳化物、氮化物、硼化物等。这里有两个关键因素:
一是作为初始混合气体气相与基体固相界面的作用,也就是说,各种初始气体之间在界面上的反应来产生沉积,或是通过气相的一个组分与基体表面之间的反应来产生沉积。
二是沉积反应必须在一定的能量条件下进行。一般情况下,真空镀膜设备,产生气相沉积的化学反应必须有足够高的温度作为条件,玻璃真空镀膜设备,在有些情况下,可以采用等离子体或激光辅助作为条件,降低沉积反应的温度。
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工艺特点
(1)广泛应用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料等。
(2)在产量方面,从单件到大批量皆可。
(3)有优势,沉积温度低,薄膜成份易控,膜厚与淀积时间成正比,均匀性,汽车配件真空镀膜设备,重复性好,台阶覆盖性优良。
(4)工具涂层的生产效率不如pvd,具体取决于特定技术要求和辅助工艺。
化学气相沉积曾是真空技术广泛用于陶瓷沉积的种技术,---是对工具涂层更是这样。
镀膜机工艺在太阳能运用方面的运用当需求有用地运用太阳热能时,就要思考选用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所导致的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20μm之间的红外波段。
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以下是制备的---条件:
在沉积温度下,反应物具有足够的蒸气压,并能以适当的速度被引入反应室;
反应产物除了形成固态薄膜物质外,led真空镀膜设备,都必须是挥发性的;
沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压。
cvd技术是作为涂层的手段而开发的,但不只应用于耐热物质的涂·层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域,其工艺成本具体而定。
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