化学气相沉积-东莞拉奇纳米镀膜-等离子化学气相沉积

四种常见的真空镀膜材料

1.氧化物:一氧化硅sio，二氧化硅sio2，二氧化钛tio2，二氧化锆zro2，二氧化铪hfo2，一氧化钛tio，五氧化三钛ti3o5，五氧化二铌nb2o5，五氧化二钽ta2o5，氧化钇y2o3，氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。

2.---物：---钕nbf3，baf2，---cef3，---镁mgf2，化学气相沉积，laf3，---钇yf3，---镱ybf3，---铒erf3等高纯---物。

3.其它化合物：---锌zns，---znse，氮化钛tin，碳化硅sic，钛酸---latio3，钛酸钡batio3，钛酸---srtio3，钛酸镨prtio3，cds等真空镀膜材料。

4.金属镀膜材料：高纯铝al，高纯铜cu，高纯钛ti，高纯硅si，高纯金au，等离子化学气相沉积，高纯银ag，高纯铟in，高纯镁mg，高纯锌zn，高纯铂pt，高纯锗ge，高纯镍ni，高纯金au，金锗合金auge，金镍合金auni，镍铬合金nicr，钛铝合金tial，铜铟合金cuinga，铜铟硒合金cuingase，锌铝合金znal，铝硅合金alsi等金属镀膜材料。

 钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子，石墨烯化学气相沉积，工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀，因此必须有一个安全---的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。目前国内常用两种方法进行防护，一种是传统的电镀工艺在 铁硼磁性材料表面镀上镍、锌或锡、金等。这些涂层有时会影响磁性材料的表磁等特性，有的在盐雾试验时仍不能对钕铁硼磁性材料提供有效的防护。另一种方法是用环氧树脂材料进行电泳涂敷，但电泳涂敷时工件表面必须有一挂点，挂点的修补不仅费工费时，而且难以---，低压化学气相沉积，而parylene涂层技术可控制涂层厚度进行无支点全涂敷防护。parylene又是一种透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，parylene涂敷稀土磁性材料的技术和产品，目前国外小型钕铁硼稀土磁性材料都已采用parylene进行防护。