多功能化学气相沉积-黄埔化学气相沉积-东莞拉奇纳米

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    2020-12-14

唐锦仪
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 钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子,工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀,因此必须有一个安全---的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。目前国内常用两种方法进行防护,一种是传统的电镀工艺在 铁硼磁性材料表面镀上镍、锌或锡、金等。这些涂层有时会影响磁性材料的表磁等特性,有的在盐雾试验时仍不能对钕铁硼磁性材料提供有效的防护。另一种方法是用环氧树脂材料进行电泳涂敷,但电泳涂敷时工件表面必须有一挂点,挂点的修补不仅费工费时,而且难以---,而parylene涂层技术可控制涂层厚度进行无支点全涂敷防护。parylene又是一种透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料,parylene涂敷稀土磁性材料的技术和产品,目前国外小型钕铁硼稀土磁性材料都已采用parylene进行防护。





粗抽泵:从---压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。

  (4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,多功能化学气相沉积,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。

只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(qcm)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。








高真空离子镀适用范围比较广,如abs料、abs+pc料、pc料的商品。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大,电镀出来产品外观损坏大,低压化学气相沉积,产品稳定性差。而高真空离子镀它是以真空技术为基础,黄埔化学气相沉积,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,也就是我们俗称的真空镀膜。





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