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真空镀膜机扩散泵维修与保养

5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

7、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，电子纳米镀膜设备工厂在哪，数分钟后，电子纳米镀膜设备哪有订，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

       真空镀膜机镀件怎样除气：

       真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，---是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的。

　　但除了真空镀膜机抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是产品镀件的除气也很重要。

　　有些产品镀件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，顺德电子纳米镀膜设备，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。

　　另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常---的。

　　通常我们使用的产品镀件除气方法是烘烤，通过加热把工件内的气体、水分排出，电子纳米镀膜设备厂家在哪，在镀膜前，抽气的同时，对工件进行加热，当工件内水分和气体由于加热而放出后，随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。

　　针对不同的工件采取不一样的除气措施，有效控制产品镀件内部气体与水分排放，提高镀膜的稳定性和均匀性。