




真空镀膜工艺:为使光学零件能满足在光电仪器及元器件中所需的光学,聚对二---,电学,聚对二---厂在哪,物理性能,而可以在其表面上镀一层,多层乃百层的薄膜。例如增透膜、反射膜、分光膜、滤光膜、电热膜、保护膜、偏振膜等。光学零件的镀膜主要分物理和化学镀膜两类。由于真空技术和膜系监控技术的发展,较易获得性能稳定,结构复杂的膜层。故在生产中多以真空镀膜法为主。
按照薄膜的使用性能分类,常见的膜层有:增透膜,反射膜,分光膜,滤光膜,电热膜,导电膜及保护膜等。按照薄膜的结构可以分为单层膜,双层膜及多层膜等。
一代光学镀膜原理
抗磨损膜始于20世纪70年代初,当时认为玻璃镜片不易磨制是因为其硬度高,而有机镜片则太软所以容易磨损。因此将石英材料于真空条件下镀在有机镜片表面,形成一层非常硬的抗磨损膜,但由于其热胀系数与片基材料的不匹配,很容易脱膜和膜层脆裂,因此抗磨损效果不理想。
二代光学镀膜原理
20世纪80年代以后,研究人员从理论上发现磨损产生的机理不仅仅与硬度相关,膜层材料具有“硬度/形变”的双重特性,即有些材料的硬度较高,但变形较小,而有些材料硬度较低,但变形较大。第二代的抗磨损膜技术就是通过浸泡工艺法在有机镜片的表面镀上一种硬度高且不易脆裂的材料。

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