




真空镀膜设备的真空系统构成:
目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、真空系统、制冷机低温泵系统。
一、通用真空系统
系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4pa的范围内。
二、真空系统
在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,就可以使镀膜室真空度提高到10-6pa以上,从而得到真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。
镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。
三、制冷机低温泵系统
使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的---压力、操作简单、蓬盘维护方便。
我们不仅仅要清洗真空镀膜机,还要清洗真空室,清洗真空室可以使用溶液反复擦洗真空室内壁,派瑞林镀膜设备工厂哪里近,( 注意安全不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝与溶液发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽车油清洗精抽阀内的污垢,这样清洗以后,派瑞林镀膜设备厂家哪里近,真空室就会---干净了。
还有真空镀膜设备中的粗抽泵持续工作一个月左右就需要换上新油,派瑞林镀膜设备厂家在哪,要将泵里面以前的油清理赶紧,然后放入新油,这样才能---镀膜机正常工作!
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