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真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，气相沉积设备价格，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。

真空镀膜设备在使用过程中，企石气相沉积设备，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。例如:真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;真空镀膜设备真空抽气机组的机械泵油更是污染源，设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能，应注意随时清除。

镀膜设备是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜（包括磁性金属膜）、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等。

真空镀膜机是目前使用的真空条件下的真空设备。一般由真空室、真空单元和电气控制柜三大部分组成，排气系统由“扩散泵 + 机械泵 + 罗茨泵 + 低温--- + 多冷”组成。