lh320气相沉积设备-横沥气相沉积设备-拉奇纳米

真空镀膜机组成结构是怎样的？一---整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，横沥气相沉积设备，每个系统可以完成不同的功能。

真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片，气相沉积设备哪有订，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发。

其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。

真空镀膜机的原理

真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。

辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态，lh320气相沉积设备，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。