南海parylene-东莞拉奇纳米镀膜

真空镀膜加工的科学蒸镀

真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩，并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统，五金配件parylene，通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室，底盘上有真空测---的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*pa以上，采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的，它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上

镀膜材料一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，汽车配件parylene，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。

真空镀膜主要利用辉光放电将气离子撞击靶材表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来的好，但是镀膜速度却比蒸镀慢很多。