化学气相沉积-拉奇纳米-电子化学气相沉积

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。真空真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀.蒸发镀膜 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，金属配件化学气相沉积，称为蒸发镀膜。

真空镀膜是在真空---钛、金、石墨、水晶等金属或非金属、气体等材料利用溅射、蒸发或离子镀等技术，在基材上形成薄膜的一种表面处理过程。真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料。真空镀膜可以使原料具有许多新的、好的物理和分析化学特征。

真空镀膜技术之物理气相沉积技术，它利用某种物理过程，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。物理气相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。

真空镀膜的均匀性已经相当好，化学气相沉积，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，显示屏化学气相沉积，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有障碍。镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。