拉奇纳米-气相沉积设备选-气相沉积设备

　　真空镀膜设备的真空系统构成：

　　目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别，归纳起来主要有如下几种系统：通用真空系统、真空系统、制冷机低温泵系统。

　　一、通用真空系统

　　系统的主泵是油扩散泵，泵上方设有水冷挡板(阱)，主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2～10-4pa的范围内。

　　二、真空系统

　　在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵，h1050气相沉积设备，就可以使镀膜室真空度提高到10-6pa以上，从而得到真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵，所以还是有油的系统。

　　镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空，lh320气相沉积设备，有利于膜的提高。分子泵抽速很大，可以缩短工艺周期。

　　三、制冷机低温泵系统

　　使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点：无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的---压力、操作简单、蓬盘维护方便。

东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司，是将派瑞林（pa-rylene）高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性：防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

如何测量真空镀膜机的厚度?

我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列，使固体材料的密度和体积完全一致，均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜当量表面。根据被测薄膜的物理性质，将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜，则其平均表面称为薄膜物理等效面。