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影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

气体不均匀性的影响

一般来说气体不均匀可以由两种情况产生，一种是送气不均匀，另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气，可认为是均匀抽气；而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气，属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气，真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时，气压从前到后逐渐减小，而后分子泵关只开前分子泵时，气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。

       真空镀膜机镀件怎样除气：

       真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，---是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的。

　　但除了真空镀膜机抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是产品镀件的除气也很重要。

　　有些产品镀件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，有机高分子镀膜设备，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。

　　另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常---的。

　　通常我们使用的产品镀件除气方法是烘烤，通过加热把工件内的气体、水分排出，有机高分子镀膜设备哪里好，在镀膜前，抽气的同时，对工件进行加热，有机高分子镀膜设备厂家在哪，当工件内水分和气体由于加热而放出后，随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。

　　针对不同的工件采取不一样的除气措施，有效控制产品镀件内部气体与水分排放，提高镀膜的稳定性和均匀性。