




真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入---,拆去联结水管,气相沉积设备厂商,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,黄圃气相沉积设备,待水份挥发干以后,uh850气相沉积设备,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,h850气相沉积设备,装好电炉盘,便可以重新开机。

真空镀膜机是现在产品在真空条件下进行镀膜使用的一种设备,一---整的真空镀膜机是由多部分系统组成的,每个系统可以完成不同的功能。其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。
镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。真空镀膜机镀膜原理一般是根据实际产品工艺需求定制。

镀膜有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,即可沉积非常纯净的膜层,又可制备具有特定结构和性质的膜层等等,仍然是当今非常重要的镀膜技术。镀膜系统一般由三个部分组成:真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料,需要容器来支撑或盛装蒸发物,同时需要提供蒸---使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。

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