




真空镀膜机的操作注意事项
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;
5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;
6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
7、设备中途停气时,lh300气相沉积设备,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
9、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免;
真空镀膜是真空科学技术领域中活跃的一门应用技术,它涉及到镀膜设备、工艺、膜材、靶材等诸多方面,薄膜的种类很多。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用
擦洗真空室内壁,气相沉积设备,( 注意人体皮肤不可以直接接触,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
真空镀膜设备三大保养技巧
当镀膜设备工作完成到两百个镀膜的时候,气相沉积设备厂商,拆出密封圈,及时清洁设备环境(室内环境)。如何清洁保养?首先我们要使镀上去的膜层掉落,同时释放氢气,清洗过程中要注意所使用到的溶液会灼---体的皮肤,所以通常我们要小心谨慎用碱饱和溶液不断来回清洗真空适合内部(内壁),再用清水洗刷真空室,并通过抹布沾上擦拭抽阀里面的污渍。
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