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真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。

采用pvd真空镀膜处理，清除镀膜室内的尘埃，设置洁净度高的工作间，保持室内高度清洁，是镀膜工艺对环境的基本要求。在空气湿度大的地方，清溪派瑞林绝缘镀膜，除镀前要对基片、真空室各部件仔细清洗外，还要进行烘烤除气。为了防止油进入真空室，五金派瑞林绝缘镀膜，应注意油扩散泵返油，对高热能的扩散泵必须采取挡油措施。

真空镀膜加工的科学蒸镀

在真空蒸镀时，气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的，而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩，并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统，通过真空阀门对工作室抽真空。