




真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
真空镀膜机日常维护保养
1、每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法:用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,气相沉积设备厂在哪,再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,气相沉积设备哪里实惠,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
真空镀膜设备三大保养技巧
当阀泵连续工作一个月之后,为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动,拧开放油螺栓,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,观察油视镜倒入新油加到一定额度,盐田气相沉积设备,平常换油时应将油盖打开,有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,lh320气相沉积设备,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。
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