




真空镀膜机扩散泵维修与保养
扩散泵是真空镀膜机很重要的部件,大家都知道,真空镀膜机是在真空状态下工作的,h850派瑞林镀膜设备哪里好,那么真空腔体要达到真空,扩散泵的。然而要---真空镀膜机长期稳定工作,扩散泵保养和维护是的环节。
1、扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,h850派瑞林镀膜设备哪有卖,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
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真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,h850派瑞林镀膜设备销售,应清洁工作室一次。方法是:用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,广州h850派瑞林镀膜设备,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
气体不均匀性的影响
一般来说气体不均匀可以由两种情况产生,一种是送气不均匀,另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气,可认为是均匀抽气;而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气,属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气,真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时,气压从前到后逐渐减小,而后分子泵关只开前分子泵时,气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。
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