




影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
磁场不均匀的影响
由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,lh300派瑞林镀膜设备哪有订,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。
真空镀膜机在各个行业中在适用过程中对环境也是有要求的,它对环境的要求主要遵循以下几点:
1.对加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要的,需要镀前清洁处理,可以达到工件去油、去污和脱水的目的;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体;
2.经过清洗处理的清洁表面,不能存放在---环境中,新北lh300派瑞林镀膜设备,须用封闭容器或保洁柜贮存,可以减小灰尘的沾污。可以用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,因此贮存在真空干燥箱中;
3.清除镀膜室内的灰尘,lh300派瑞林镀膜设备公司,需设置清洁度高的工作间,洁净室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。除镀前需要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还需进行烘烤除气。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
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