




真空镀膜加工的科学蒸镀
真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,派瑞林镀膜,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,塑料派瑞林镀膜,通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室,底盘上有真空测---的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*pa以上,橡胶派瑞林镀膜,采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的,派瑞林镀膜,它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上
真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有cvd和pvd两者特点的等离子化学气相沉积等。
真空镀膜加工的科学蒸镀
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
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