




真空镀膜加工中频磁控溅射
目标源可分为平衡源和非平衡源。平衡靶源的涂层均匀,且非平衡靶源的涂层与基材的附着力强。平衡靶源主要用于半导体光学薄膜,硅胶派瑞林镀膜,非平衡靶源主要用于装饰膜的佩戴。
无论平衡还是不平衡,如果磁铁是静止的,其磁性决定了现有材料的利用率通常小于3。为了提高靶材的利用率,可以采用旋转磁场。然而,旋转磁场需要一个旋转机构,并且应降低等待速率。旋转磁场主要用于大型或有价值的目标。如半导体薄膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,通常使用磁场静态目标源。
真空镀膜对塑胶基材的要求:很多用于化妆品包材的塑胶都适合采用真空镀膜工艺进行表面装饰化,比如:abs、as、pp、亚克力、pet、petg等。
镀膜有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,即可沉积非常纯净的膜层,金属派瑞林镀膜,又可制备具有特定结构和性质的膜层等等,仍然是当今非常重要的镀膜技术。
为了避免蒸发源材料在镀膜材料蒸发时也同时蒸发,影响薄膜的纯度,一般应选择镀膜材料的温度到达蒸发温度时,新会派瑞林镀膜,蒸发源材料的蒸气压低于10-6pa的材料做蒸发源。

东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
镀膜技术在传感器方面的应用
在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,电子派瑞林镀膜,---敏感的半导体材料。此外,其中大多数利用的是半导体的表面、界面的性质,需要尽量增大其面积,且能工业化、格制作、因此采用薄膜的情况很多。

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