




实践证明,电子束钢带真空镀膜具有很多优点:
(1)可选择的镀膜材料多而不受材料熔点---。能量密度---的电子束可以使镀膜材在很短的时间达到3000℃~6000℃。因此,除了热镀锌中常见的镀锌、铝、锡之外,真空微米镀膜厂家,几乎所有的金属材料都可以蒸镀,还可镀种类众多的金属氮化膜,金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。这为发展新型带钢材料提供了很大的自由度。
(2)镀膜材料利用率高,环境污染小。真空镀膜属干式镀膜,没有有害液体、气体的产生。
? 微电子、半导体:使用高纯的parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。
?传感器和换能器:自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器, parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性,涂层无,且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种---环境。
?parylene适用于微机电(mems)、半导体领域之优点
*能进行微米级微细制作和加工;
*与其它微细结构材料有---的相容性;
* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能;
*对微电子机械系统的使用环境有---的相容性和防护性
真空镀膜的方法很多,计有:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,真空微米镀膜工厂哪里近,使蒸气达到约13.3pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3pa,真空微米镀膜价格,然后将阴极接上2000v的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,清溪真空微米镀膜,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。
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