




真空镀膜的方法很多,计有:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3pa而使蒸气分子飞到基体表面,五金配件真空微米镀膜,凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3pa,然后将阴极接上2000v的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。
parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,南朗真空微米镀膜,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。parylene具有优异的尺寸稳定性和低温性能,在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5kv,五金真空微米镀膜,2.0kv 甚至更高的耐电压击穿性能。因此,parylene可用作微机电,微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。
带钢真空镀膜总的来说仍处在发展的初级阶段,橡胶真空微米镀膜,在带钢表面处理中所占份额目前还远不能与热浸镀、电镀相比。阻碍带钢真空镀膜发展的主要原因是生产率低,成本较高。有效的解决方法是开发研制高速,稳定的高功率蒸发源。
大功率电子的开发和使用是带钢真空镀膜中的关键技术。一般的真空蒸发镀膜可以采用电阻加热和感应加热。它的设备较简单,但加热温度和蒸发速率较低。要满足连续式工业化生产钢带真空镀膜的需要,就必须使用加热速度快,熔化温度高的热源。
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