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真空镀膜加工磁控溅射技术有很多种。每个都有不同的工作原理和应用对象。但有一个共同点：磁场和电子之间的相互作用使电子在靠近目标表面的掩埋螺旋中运行，从而增加电子撞击产生离子的概率。产生的离子在电场的作用下与靶表面发生碰撞，并从靶表面飞溅出去。

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，硅胶派瑞林绝缘镀膜，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

清洁处理后的清洁表面不能储存在---环境中，但应储存在封闭的容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可以很大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。