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真空镀膜加工中频磁控溅射

用磁控靶源溅射金属和合金容易，点火和溅射方便。这是因为目标、等离子体和飞溅零件的真空腔可以形成一个电路。但是，如果溅镀陶瓷等绝缘体，五金派瑞林，电路就会断开。因此，人们使用高频电源，并在电路中添加一个---的电容器。这样，目标成为绝缘电路中的电容器。

然而，高频冲击控制无线电电源价钱昂贵，源发射率很小，接地技术非常复杂，难以---采用。为了解决这一问题，发明了磁控反应弯头。使用金属棒，加入气和氮气或氧气等反应气体。当金属靶击中零件时，显示屏派瑞林，由于转换，它将与反应气体结合形成氮化物或氧化物。

真空镀膜是在真空---钛、金、石墨、水晶等金属或非金属、气体等材料利用溅射、蒸发或离子镀等技术，在基材上形成薄膜的一种表面处理过程。与传统化学镀膜方法相比，汽车派瑞林，真空镀膜有很多优点：如对环境无污 染，是---工艺;对操作者无伤害;膜层牢固、致密性好、抗腐蚀性强，膜厚均匀。

真空镀膜技术中经常使用的方法主要有：蒸发镀膜(包括电弧蒸发、电子蒸发、电阻丝蒸发等技术)、溅射镀膜(包 括直流磁控溅射、中频磁控溅射、射频溅射等技术)，这些方法统称物理气相沉积(physical vapor deition)， 简称为pvd。