




采用化学气相沉积处理时,应注意以下问题:
(1)要考虑模具锐角部分的凸起变形
由于涂层与基体的线胀系数不同,模具棱角处容易产生应力集中,刀具镀膜设备,基材会被挤出形成凸起。可以采取的解决方法是:将锐角处加工成圆弧状,车灯镀膜设备,或是估计凸起变形量的大小,预先加工成锥形。
(2)cvd沉积温度高而带来的尺寸和形状变形
其变形程度取决于所选用的材料、形状、沉积温度、涂层厚度以及预备热处理等。
在cvd处理过程中,尺寸变形小的材料是硬质合金及含cr高的不锈钢系合金;冲压加工领域使用的模具材料主要限于合金工具钢、冷作模具钢(cr12mov)、硬质合金等,其中快冷淬透钢,由于快冷时容易产生翘曲、扭曲等变形,镀膜设备,所以不宜进行cvd处理;而高速钢是热处理膨胀较大的钢种,使用时必须充分估计其膨胀变形量。
.真空蒸镀
真空蒸镀是真空条件下在1.33x10-3至1.33x10-4pa的压力下,用电子束等热源加热沉积材料使之蒸发,蒸发的原子或分子直接在注塑加工件表面形成沉积层。但对于难熔的金属碳化物和氮化物进行直接蒸发是有困难的,并且有使化合物分解的倾向。为此,开发了引入化学过程的反应蒸镀,例如,用电子枪蒸发钛金属,并将少量和等反应气体导入蒸发空间,使钛原子和反应气体原子在工件表面进行反应,真空镀膜设备生产厂家,沉积tic涂层。
真空蒸镀多用于透镜和反射镜等光学元件、各种电子元件、塑料注塑加工制品等的表面镀膜,在表面硬化方面的应用不太多。
一个真正的单层,即大面积石墨烯薄膜覆盖在大面积铜箔上。改进了化学气相沉积(cvd)生长方法,消除了石墨烯生长在铜箔上的所有碳杂质。这种均匀“”的单层单晶石墨烯有望被用作分辨率透射电镜成像和光学设备的超薄支撑材料。也可作为一种合适的石墨烯,以实现非常均匀的功能化,这将促使推动许多其他应用,---是用于各种类型的传感器。
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