




采用化学气相沉积处理时,应注意以下问题:
(1)要考虑模具锐角部分的凸起变形
由于涂层与基体的线胀系数不同,模具棱角处容易产生应力集中,基材会被挤出形成凸起。可以采取的解决方法是:将锐角处加工成圆弧状,或是估计凸起变形量的大小,预先加工成锥形。
(2)cvd沉积温度高而带来的尺寸和形状变形
其变形程度取决于所选用的材料、形状、沉积温度、涂层厚度以及预备热处理等。
在cvd处理过程中,真空镀膜设备生产厂家,尺寸变形小的材料是硬质合金及含cr高的不锈钢系合金;冲压加工领域使用的模具材料主要限于合金工具钢、冷作模具钢(cr12mov)、硬质合金等,其中快冷淬透钢,镀膜设备,由于快冷时容易产生翘曲、扭曲等变形,所以不宜进行cvd处理;而高速钢是热处理膨胀较大的钢种,使用时必须充分估计其膨胀变形量。
工艺特点
(1)广泛应用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料等。
(2)在产量方面,从单件到大批量皆可。
(3)有优势,沉积温度低,薄膜成份易控,膜厚与淀积时间成正比,均匀性,重复性好,台阶覆盖性优良。
(4)工具涂层的生产效率不如pvd,塑胶镀膜设备,具体取决于特定技术要求和辅助工艺。
4、适用材料
化学气相沉积曾是真空技术广泛用于陶瓷沉积的一种技术,---是对工具涂层更是这样。
2080年代早期随着等离子体辅助pvd工艺的显露,cvd在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有---的渗入特性,其在cvi、ale等领域的工艺中有着---的应用前景,主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。
物理气相沉积是真空条件下采用物理方法把欲涂覆物质沉积在工件表面上形成膜的过程,通常称为pvd法。在进行pvd处理时,工件的加热温度一般都在600℃以下,这对于用高速钢、合金模具加工钢及其他钢材制造的模具加工都具有重要意义。目前,常用的有三种物理气相沉积方法,即真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀,其中,离子镀在模具加工制造中的应用较广。发展到目前,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。
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