




真空镀膜机扩散泵维修与保养
扩散泵是真空镀膜机很重要的部件,大家都知道,lh300派瑞林镀膜设备公司,真空镀膜机是在真空状态下工作的,佛山lh300派瑞林镀膜设备,那么真空腔体要达到真空,扩散泵的。然而要---真空镀膜机长期稳定工作,扩散泵保养和维护是的环节。
1、扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,lh300派瑞林镀膜设备厂在哪,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
靶基距、气压的影响
磁控溅射真空镀膜机靶基距也是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,薄膜厚度均匀性在一定范围内随着靶基距的增大有提高的趋势,lh300派瑞林镀膜设备哪有订,溅射工作气压也是影响薄膜厚度均匀性重要因素 。但是,这种均匀是在小范围内的,因为增大靶基距产生的均匀性是增加靶上的一点对应的基材上的面积产生的,而增加工作气压是由于增加粒子散射产生的,显然,这些因素只能在小面积范围内起作用。
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如何测量真空镀膜机的厚度?
我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列,使固体材料的密度和体积完全一致,均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜当量表面。根据被测薄膜的物理性质,将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜,则其平均表面称为薄膜物理等效面。
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