东莞拉奇纳米-香洲parylene涂层

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，橡胶parylene涂层，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。

清洁处理后的清洁表面不能储存在---环境中，但应储存在封闭的容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，五金配件parylene涂层，可以很大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。

真空镀膜知识：

1.真空:用真空泵抽掉容器中的气体，使空间内低于一个---压的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区---压的气体分子密度。

2.真空中残存气体的稀薄程度，就是真空程度的高低，即真空度。通常用压力表示单位（pa）

3.1pa就是1m2面积上作用1n的压力。1---压=1.03×105pa

4.压升率：单位时间内，真空度降低的速率。单位：pa/h

5.真空泵的抽气简称抽速）（单位：l/s） :当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上位置测得的平衡压力之比。

6.---真空度：（单位：pa):在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的压强。